发布时间:2024-05-14
校准硅压阻式传感器压力传感器的主要困难在于它们的误差幅度范围很宽,采用不同工艺生产的硅压阻式压力传感器具有不同类型的误差和误差范围。甚至由同一个制造商提供的同一型号传感器的误差幅度,两者之间也会有轻微的差异。硅压阻式传感器的误差因素包括:满偏信号随温度变化的强烈非线性(高达1%oK);很大的初始失调(可至满偏的100%或更高)以及失调随温度的强烈漂移等。在一定限度内,这些缺陷可以由电子电路加以补偿。
一定温度下,硅压阻桥路电阻(Vcc和地之间的等效电阻)能够在很宽的压力范围内保持相当的恒定,然而,随着温度的上升,桥路电阻显著增加,如果电桥由恒流源驱动,桥路电压(指Vcc和地之间的等效电阻与恒流源输出电流的乘积)就会增加。当桥路电压随着温度的升高而增大时,则SPRT灵敏度也随之升高。
然而,如果保持压力传感器两端电压恒定,压力传感器的灵敏度就会随着温度的上升而降低(或称负向灵敏度系数),但因为桥路电阻受温度影响而增加时,它所引起的灵敏度正向变化系数是大于负向灵敏度系数,所以,满偏输出(FSO)趋向于随着温度增加而增加。电阻器Rts可以在温度上升时旁路掉一部分桥路电流,从而抵消上述效应。类似地,Rtz或R'tz可对失调的漂移进行校正。电路中选择Rts还是R'tz取决于失调的温度漂移方向。
这种传统校正方法的优点是程式简单、廉价,但主要问题是各个补偿元件之间互相影响,使校准非常困难,并限制了所能达到的精度,该校正技术也不便于采用电子调整。
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