发布时间:2024-05-15
微机械压力传感器是最早开始研制的微机械产品,也是微机械技术中最成熟、最早开始产业化的产品。近来微机械压力传感器的技术不断提高,功能也越来越全面,应用的范围也是越来越广泛。现阶段微机械压力传感器的发展方向主要分为4个方向,下面为大家具体介绍一下是那4个方向吧。
其一是将敏感元件与信号处理、校准、补偿电路及微控制器等进行单片集成,研制智能化的微视械压力传感器。
其二是进一步提高灵敏度,实现低量程的微机械压力传感器。这种微压传感器用于脉动风压、流量和密封件泄漏量标识等领域。
其三是提高工作温度,研制高低温微机械压力传感器。压阻式微机械压力传感器由于受Pn结耐温限制,只能用于120度以下的工作温度,然而在许多领域迫切需要能够在高低温下正常工作的微机械压力传感器,例如磁量锅炉、管道、高温容器内的压力,井下压力和各种发动机腔体内的压力。目前对高温微机械压力传感器的研究主要包括合金薄膜溅射微机械压力传感器,高温光纤微机械压力传感器,高温电容式微机械压力传感器等。
其四是开发谐振式微机械压力传感器。谐振式微机械压力传感器称重传感器除了具有普通微机械压力传感器的优点外,还具有准数字信号输出,抗干扰能力强,分辨率和测量精度高的优点。
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