发布时间:2024-05-30
压力传感器是一种将压力信号转变成电信号的传感器,主要分为静态和动态压力传感器两种。高频以压电式压力传感器为主;低频静态以压阻硅、应变式压力传感器为主。动态压力传感器主要应用于爆炸物理、风洞试验、自由场压力测量领域;静态压力传感器主要应用于安全控制、生产过程控制等领域。
压力传感器,是指以膜片装置(不锈钢膜片、硅酮膜片等)为媒介,用感压元件对气体和液体的压力进行测量,并转换成电气信号输出的设备。
压力传感器是工业实践中最为常用的一种传感器,其广泛应用于各种工业自控环境,涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业。
力敏传感器是使用最广泛的一种传感器,它是检测气体、液体、固体等所有物质间作用力能量的总称,也包括测量高于大气压的压力计以及测量低于大气压的真空计。力敏传感器的种类甚多、传统的测量方法是利用弹性元件的形变和位移来表示,但它的体积大、笨重、输出非线性。
随着微电子技术的发展,利用半导体材料的压阻效应和良好的弹性,研制出半导体力敏传感器,主要有硅压阻式和电容式两种,它们具有体积小、重量轻、灵敏度高等优点,因此半导体力敏传感器得到广泛应用。当对一块半导体在某一晶向上施加应力时,其电阻率会产生一定的变化。这种导体电阻率变化和应力之间的相互关系称为半导体压阻效应,利用此效应制成的力学量传感器称为压阻式力敏传感器,它有两种类型,一类是将半导体应变计粘贴在弹性元件上制成的传感器,称为粘贴型压阻式传感器,另一类是在半导体材料的基片上用集成电路工艺制成的扩散电阻,使应变计与硅衬底形成同一整体的传感器,称为扩散型压阻式。
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