发布时间:2024-12-16
电阻式压力传感器利用单晶硅的压阻效应构成。它采用单晶硅片作为弹性元件,并在单晶硅膜片上利用集成电路工艺扩散一组等值电阻,将电阻接成桥路。传感器腔内置放着这个单晶硅片。当压力发生变化时,单晶硅产生应变,导致直接扩散在其上的应变电阻按压力成正比地变化。桥式电路会输出相应的电压信号。
压阻式传感器在多种应用中表现出理想的性能。例如,它可以用于测量直升飞机机翼的气流压力分布,测试发动机进气口的动态畸变、叶栅的脉动压力和机翼的抖动等。在喷气发动机内部的中心压力测量中,可以采用专门设计的硅压力传感器,其工作温度可达500℃以上。波音客机的大气数据测量系统中也采用了精度高达0.05%的硅压力传感器。
压阻式传感器还广泛应用于爆炸压力和冲击波的测量、真空测量、汽车发动机性能的监测和控制,以及枪炮膛内压力和发射冲击波等兵器测量领域。此外,油井压力测量、随钻测向、地下密封电缆故障点检测以及流量和液位测量等领域也广泛采用压阻式传感器。随着微电子技术和计算机的进一步发展,压阻式传感器的应用前景将进一步扩展。电阻应变式压力传感器是电阻式压力传感器的一种变体,它通过测量粘结在弹性元件上的应变片阻值的变化来测量压力值。
电阻应变式压力传感器可用于力、扭矩、张力、位移、转角、速度、加速度和振幅等测量。其工作原理基于电阻的应变效应:当导体发生机械变形时,其电阻值会发生相应变化,这就是所谓的“应变效应”。应变片由应变敏感元件、基片和覆盖层、引出线三部分组成。应变敏感元件一般由金属丝或金属箔(具有高电阻系数的材料)组成,它能将机械应变转化为电阻的变化。基片和覆盖层起到固定和保护敏感元件、传递应变以及提供电气绝缘的作用。

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