电容式位移传感器属于一种常见的测量系统，其原理是利用电容变化来测量两个平行电极之间物体的距离。根据不同的测量需求，电容式位移传感器可以细分为以下几种类型：

1. 平行板电容式位移传感器：这是最简单的一种电容式位移传感器，由两个平行的电极板构成。其中一个电极固定，另一个电极与被测物体相连。当被测物体移动时，电容的数值会发生变化，从而获得位移信息。该传感器的量程通常在几毫米到几百毫米之间。

2. 球形电容式位移传感器：该传感器通过球形感应器来测量球体的距离。在球体和球形感应器之间形成一个以球心为中心的球形电容。当球体移动时，会导致电容数值的变化，从而得到位移信息。

3. 悬臂电容式位移传感器：该传感器将移动的物体与一个悬臂连接。当物体移动时，悬臂会发生弯曲变形，导致悬臂下端的电极板与固定电极板之间的电容数值发生变化，从而得到位移信息。这种传感器常用于测量微小位移和形变。

电容式位移传感器具有广泛的量程范围和高精度，并且可以测量各种形状和尺寸的物体，因此在机械加工、材料学、医学、生物学、环境监测等领域得到广泛应用。

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