发布时间:2023-11-17
随着现代科学技术的进步,作为感知之器的传感器在与大脑之计算机相比的发展速度方面显得相形见绌,信息采集技术滞后于信息处理技术。特别是当今自动化、智能化的现代测控系统要求传感器不仅具备高准确度、可靠性和稳定性,还要具备一定的数据处理能力,以及自检、自校和自补偿的能力。有些场景还需要小型化、多功能化的传感器,能够同时测量多个参数。现代传感器主要包括称重传感器、压力传感器、扭矩传感器、霍尔传感器、流量传感器、位移传感器、速度传感器和加速度传感器等系列。传感器的发展水平已成为判断一个国家科技现代化程度和生产水平的重要指标,也是综合实力的重要体现。传感器的研究、开发和应用技术备受各国科研机构和科技人员的高度关注。
目前,传感器与传感器技术的主要发展趋势有两个方面:一是进行基础研究,探索新理论,发现新现象,开发新材料和新工艺,以推动传感器的进一步发展;二是实现传感器的集成化、多功能化和智能化,为各行各业提供更全面、更高效的解决方案。
在传感器制造方面,微细加工技术被广泛采用。半导体工艺中的氧化、光刻、扩散、沉积、平面电子工艺、各向异性腐蚀,以及蒸镀、溅射薄膜工艺等方法,都可以应用于传感器的制造。这为各种新型传感器的问世提供了可能。例如,利用半导体技术可以制造出压阻式传感器,利用晶体外延生长工艺可以制造出硅和蓝宝石井下数字压力传感器,利用薄膜工艺可以制造出快速响应的气敏传感器,利用各向异性腐蚀技术可以进行高精度三维加工,在硅片上构造出各种形状,从而研制出全硅谐振式压力传感器。
此外,开发新材料也是传感器研制的重要领域。新型传感器敏感元件的材料对于研制新型传感器来说至关重要,尤其是物性型敏感材料。例如,半导体氧化物可以用于制造各种气体传感器,而陶瓷传感器的工作温度远高于半导体传感器。光导纤维的应用是传感器材料的重要突破,利用光导纤维制造的传感器相比传统传感器具有突出的特点。而在传感器敏感材料方面,高分子聚合物作为传感器的敏感材料已经引起了国内外学者的广泛关注。
此外,发现新的现象也是传感器技术发展和新型传感器研制的重要基础。传感器的工作原理基于各种物理现象、化学反应和生物效应。因此,发现新的现象和效应对于传感器技术的发展和新型传感器的研制至关重要。日本夏普公司利用超导技术成功研制出高温超导磁传感器是传感器技术的重大突破,其灵敏度仅次于超导量子干涉器件(SQUID),但制造工艺比超导量子干涉器件简单,可以应用于磁成像技术,在推广上具有广泛的价值。

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