在现代科技工业当中力传感器的使用是无所不在,因为电阻应变式力传感器本身是一种坚固、耐用、可靠的机电产品,但为了保 证测试精度,但仍有许多在使用中要注意的问题,那么使用力传感器时应该注意哪些事项呢
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压力传感器主要应用于:增压缸、增压器、气液增压缸、气液增压器、压力机,压缩机,空调制冷设备等领域. 1、应用于液压系统 压力传感器在液压系统中主要是来完成力的闭环控制。当控制阀芯突然移动时,在
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相关工艺 要得到好的键合效果,在进行晶体键合前,要对3块晶片的表面进行处理,特别是晶体B,要用机械抛光的方法进行,否则由于重 掺杂硼的晶体表面粗糙度太高,键合时会由于晶体表面的内应力使晶体弯曲
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工艺流程 双面接触式电容压力传感器由3个硅晶片(其中有两个晶片B是一样的)用硅熔融法进行键合,先把晶片A正反两面腐蚀两个同 样大小的沟槽来作为传感器的真空腔,然后在这两个大沟槽上淀积一层二氧化
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双面接触式电容压力传感器的原理是基于单面接触式电容压力传感器而来的。其工作原理:当传感器的受压膜片(即梁)与基 底距离很近时,膜片受压后与基底接触,当压力变化时,通过改变接触面积的大小来改变电容
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