发布时间:2024-05-23
压力传感器有两项参数:安全过载和极限过载,过载是指施加在压力传感器上的力超过压力传感器的量程。一般来说,压力传感器安全过载范围为150%FS,极限过载范围为200%FS。过载现象是电流过大,电气设备被加热,线路的长期过载会降低线路的绝缘水平。甚至烧毁传感器设备或布线;严重过载情况下甚至会导致压力传感器弹性体变形而无法恢复导致传感器报废。过载保护是指即使负载超过额定负载,也不会有线路烧坏,但也有一定程度,一般为150%FS,并且不能继续过载工作。
压力传感器有多种形式,每种结构的过载保护设计方法也不同。许多方法各有优缺点。使用MEMS技术的小范围,高灵敏度压力传感器通常具有平膜,岛膜,梁膜和其他结构通常在设计过载保护时通过凸起和其他方法实现。形成方法包括背蚀刻技术,硅直接键合技术和玻璃蚀刻技术。然而,这些结构通常具有很大的局限性,因为腔尺寸大,灵敏度进一步受限,并且硅晶片的利用率降低,制造工艺的复杂性增加,并且生产成本增加。
目前,小范围和高灵敏度压力传感器的研究重点集中在牺牲层结构压力传感器上。这主要是因为牺牲层结构压力传感器弹性膜片非常薄,厚度可以是2μm甚至更薄。在如此薄的结构中,如果使用扩散硅或多晶硅膜作为牺牲层结构压力传感器的应变电阻,则其厚度相对较大,这对弹性膜片的应力分布有很大影响,这是不利于牺牲层结构压力传感器的性能优化。因此,使用多晶硅纳米薄膜来制造应变电阻器可以进一步利用牺牲层技术的优点。
过载保护是每种传感器的考虑因素,因为测量值可能大于使用期间的范围。只有设计有过载保护的传感器才能更好地使用,并且可以使用更长时间。如何设计每个传感器的过载保护,过载范围不同,所以无论您购买哪种传感器,都必须知道它有多少过载保护,以便将来使用更方便。由于过载,也没有烧毁电路的情况。
尽管传感器有一定的过载保护功能,仍请不要让传感器过载使用。作为厂家,我们建议选取压力传感器的时候,应先考虑传感器的量程,计算出设备最大的推力或者拉力(包括可能产生的冲击力),在精度允许范围内尽量选大传感器量程,以避免传感器过载使用!
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